離子濺射儀日常使用出現(xiàn)的故障檢察方法：
1.使用一段時(shí)間后，濺射電流變小：對靶材有無變色、破裂和油污等現(xiàn)進(jìn)行檢查，若是靶材變色或破裂，要對靶材進(jìn)行更換；若是有油污，則用無水乙醇進(jìn)行清潔，等到干了以后才能夠抽真空；
2.在使用一段時(shí)間以后，有著過低的真空：檢查濺射室中或管道內(nèi)是否有油，可以使用汽油進(jìn)行清洗；
3.濺射電流不穩(wěn)定忽高忽低：陰極罩與靶的固定環(huán)有著過近的距離，將陰極罩逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)，對間距進(jìn)行調(diào)整；
4.過低的真空：將放氣閥、漏氣閥和觀察泵的油窗液面旋緊；
5.真空泵出現(xiàn)反油現(xiàn)象：機(jī)械真空泵長期保持極限真空。
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維修流程：
1、仰光維修收發(fā)部收到儀器后會與貴司確認(rèn)儀器型號及其完好情況。
2、經(jīng)過專用檢測儀器檢測其元器件損壞程度后仰光維修將出具詳細(xì)報(bào)價(jià)單，并以傳真或電子版的形式傳至貴司送檢人員處。
3、待仰光維修工程師檢定報(bào)價(jià)后，若貴司同意報(bào)價(jià)，請簽字蓋章，用戶接受報(bào)價(jià)日期將視為維修周期的開始，維修周期一般為接受之日起3-5個(gè)工作日(特殊情況另定)。
4、待仰光維修工程師檢定報(bào)價(jià)后，若貴司不同意報(bào)價(jià)，仰光維修不收取任何費(fèi)用，將儀器原封不動寄回貴公司。
5、儀器修復(fù)后，若貴司要求送檢，仰光維修可根據(jù)客戶需要送檢。
