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等離子清洗機-等離子體故障維修分析
【作者】:YX 【發(fā)布時間】:2023-3-21 【來源】:上海仰光電子科技有限公司
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等離子體相關(guān)故障

等離子體相關(guān)的故障可以分為不產(chǎn)生等離子體和等離子體密度低。

1.不產(chǎn)生等離子體

不產(chǎn)生等離子體的主要問題有以下幾種情況:

(1)射頻電源損壞

措施:檢查射頻源輸出信號、射頻電纜、匹配網(wǎng)絡(luò),對故障點進行維修。

(2)真空問題

措施:檢查各連接處的漏率,對漏率比較大的密封圈進行更換;檢查真空泵組。

(3)壓力過大或過低

措施:檢查氣源壓力;檢查壓力閥;檢查真空閥。

2.等離子體密度低

等離子體密度低可從射頻功率源、氣源充足性、質(zhì)量流量控制器、腔壁是否污染等方面檢查。

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